十字扭簧軸承自由彈性轉軸是半導體行業的關鍵部位
半導體工業多年來一直在使用自由FECT-轉軸,以促進光刻制造的晶圓和集成電路的生產。隨著技術的進步和新的制造方法的出現,還必須調整設備以提高速度和準確性。
在晶圓的生產過程中,有許多步驟是從創造、加工、掩蔽和檢查開始的。這些過程使用了許多不同的技術,需要傳感器、鏡子和光束的精細運動和高頻振蕩。
"自由活動"是一種特別適合于這類任務的緊湊和現成的裝置,除其他外,提供下列好處:
無維護操作的無限壽命
適合清潔房間和真空環境
會以高速振蕩
自然順從彈性吸收小振動
